Đồng hồ đo lưu lượng khối khí nhiệt chính xác cao KOFLOC Model 3760 Series (Mã cấu hình chi tiết: 3760-V/D0W-Air-10SLM / 20 deg) được nghiên cứu, phát triển và chế tạo 100% tại Nhật Bản bởi tập đoàn KOFLOC (Kojima Instruments Inc.) – thương hiệu công nghệ số 1 châu Á với hơn 75 năm kinh nghiệm dẫn đầu trong lĩnh vực đo lường và điều khiển lưu lượng chất lưu vi mô. Được định vị là dòng đồng hồ đo lưu lượng khối tiêu chuẩn kinh tế (Standard Compact Mass Flow Meter - MFM) phát triển trực tiếp trên nền tảng thành công của dòng máy điều khiển Model 3660, Model 3760 đại diện cho giải pháp đo kiểm hiện đại, thay thế hoàn toàn các loại lưu lượng kế cơ học (rotameter) truyền thống vốn dễ bị ảnh hưởng bởi biến động áp suất và nhiệt độ môi trường.

Trọng tâm công nghệ của KOFLOC Model 3760 nằm ở cụm cảm biến dòng nhiệt dạng ống mao dẫn kim loại độ nhạy cao (Capillary thermal mass flow sensor) ứng dụng nguyên lý vi sai dòng nhiệt. Dây điện trở gia nhiệt được quấn đối xứng bên ngoài ống mao dẫn, trực tiếp phát hiện sự thay đổi nhiệt lượng do các phân tử khí mang đi khi di chuyển qua ống. Phương pháp đo này cho phép xác định chính xác lưu lượng khối thực tế của chất khí mà hoàn toàn không cần tiếp xúc cơ học trực tiếp với dòng chảy và không có bất kỳ bộ phận chuyển động nào (No moving parts), giúp triệt tiêu hoàn toàn nguy cơ hao mòn, kẹt hạt bụi và không làm suy giảm áp suất hệ thống. Thiết bị đạt thời gian đáp ứng cực nhanh dưới 1 giây, độ chính xác cao ±1.0% F.S. và độ lặp lại vượt trội trong phạm vi ±0.2% đến ±0.5% F.S.

Cấu hình 3760-V/D0W được hiệu chuẩn chính hãng với khí nén sạch (Air) trên dải lưu lượng định danh 10 SLM (Standard Liters per Minute, tương đương 10.000 SCCM / mL/min) tại điều kiện chuẩn 20 °C và 1 atm. Thân máy được gia công từ thép không gỉ SUS316 cao cấp, đệm kín bằng cao su kỹ thuật FKM (Viton) và Teflon (PTFE), chịu áp suất vận hành tối đa lên tới 500 kPa và áp suất phá hủy tới 980 kPa (xấp xỉ 10 bar) với tỷ lệ rò rỉ chân không cực thấp ≤ 1 x 10^-8 Pa·m³/s He. Thiết bị xuất tín hiệu analog tuyến tính 0 – 5 VDC qua cổng kết nối D-sub 9-pin chuẩn hóa KFC (SEMI standard), kết hợp đầu nối ống tán siết kép 1/4" Lok chống rò rỉ. KOFLOC 3760 là lựa chọn đo kiểm lưu lượng tin cậy cho các phòng thí nghiệm nghiên cứu R&D, thiết bị sắc ký khí, hệ thống giám sát dòng khí công nghiệp, buồng nuôi cấy vi sinh và các dây chuyền sản xuất tự động hóa cao cấp.

• Hãng sản xuất: KOFLOC (Kojima Instruments Inc.)
• Xuất xứ: 100% Nhật Bản (Kyoto, Japan)
• Dòng sản phẩm: Đồng hồ đo lưu lượng khối nhiệt tiêu chuẩn nhỏ gọn (Standard Compact Mass Flow Meter - MFM)
• Mã cấu hình chi tiết: 3760-V/D0W-Air-10SLM (20 deg) [Mã hiển thị: 3760-V/D0W-Air-10SLM-20C]
• Dòng series: Model 3760 Series (phát triển trên nền tảng cảm biến Model 3660)
• Nguyên lý cảm biến: Cảm biến lưu lượng khối nhiệt vi sai dạng ống mao dẫn kim loại (Capillary thermal mass flow sensor - không có bộ phận chuyển động)
• Môi chất khí hiệu chuẩn: Khí nén sạch / Không khí khô công nghiệp (Clean Dry Air - AIR)
• Thang đo lưu lượng định danh (Full Scale Flow Range): 10 SLM (Standard Liters per Minute, tương đương 10.000 mL/min / 10.000 SCCM)
• Điều kiện nhiệt độ tham chiếu: 20 °C tại áp suất khí quyển 1 atm (101.325 kPa)
• Độ chính xác đo lường (Accuracy): Trong phạm vi ±1.0% F.S. (tại nhiệt độ phòng 20 °C / 25 °C)
• Độ lặp lại (Repeatability): Trong phạm vi ±0.2% đến ±0.5% F.S.
• Thời gian đáp ứng (Response Time): Cực nhanh, ≤ 1.0 giây (đạt 98% giá trị định danh)
• Áp suất vận hành tối đa (Max Operating Pressure): 500 kPa (G) (~5 bar)
• Áp suất chịu đựng tối đa (Proof Pressure Resistance): 980 kPa (G) (~9.8 bar / ~1.0 MPa)
• Độ kín chống rò rỉ khí (Leak Integrity): ≤ 1 × 10^-8 Pa·m³/s (khí Helium)
• Tín hiệu ngõ ra Analog (Flow Rate Output Signal "V"): Điện áp tuyến tính 0 đến 5 VDC (Trở kháng tải ngoài khuyến nghị ≥ 250 kΩ)
• Cổng kết nối điện tử: Giắc cắm D-sub 9-pin Male chuẩn KFC (tương thích hoàn toàn chuẩn bán dẫn SEMI)
• Cổng kết nối cơ khí đường ống ("W"): Đầu nối tán siết kép 1/4" SWL (Double-Ferrule Lok Compression Tube Fittings)
• Vật liệu tiếp xúc lưu chất (Wetted Materials):
  - Thân vỏ cảm biến & đường dẫn: Thép không gỉ SUS316 / SUS316L
  - Vòng đệm làm kín (Seals & O-rings): Cao su tổng hợp cao cấp FKM (Viton) / Fluorocarbon resin
• Nhiệt độ môi trường hoạt động: 5 °C đến 45 °C (dải nhiệt độ bảo đảm độ chính xác: 15 °C đến 35 °C)
• Độ ẩm môi trường cho phép: 10% đến 90% RH (không ngưng tụ)
• Nguồn điện vận hành yêu cầu: Nguồn kép đối xứng ±15 VDC (±5%), dòng tiêu thụ xấp xỉ +100 mA / -100 mA
• Khối lượng thiết bị: Nhỏ gọn, xấp xỉ 650 g – 800 g (vỏ kim loại nguyên khối chống nhiễu điện từ EMI)
• Tiêu chuẩn chất lượng: Tuân thủ chứng chỉ an toàn Châu Âu CE, tiêu chuẩn môi trường RoHS, kiểm chuẩn nghiêm ngặt trước khi xuất xưởng
• Ngành nghề và hệ thống áp dụng: Thiết bị sắc ký khí (Gas Chromatography) và phân tích môi trường, trạm giám sát khí bảo vệ lò luyện kim, hệ thống nuôi cấy vi sinh bioreactor phòng lab, buồng kiểm tra rò rỉ khí chân không, thiết bị chế tạo linh kiện bán dẫn và quang điện tử, hệ thống phân phối và phối trộn khí mẫu chuẩn phòng R&D, và các tủ bảng tự động hóa khí công nghiệp yêu cầu đo lường lưu lượng chính xác cao.