Bộ điều khiển lưu lượng khí KOFLOC 3660-V/D0W-AIR-100SCCM chính hãng Japan giá tốt

Bộ điều khiển lưu lượng khối khí chính xác cao KOFLOC Model 3660 Series (Mã cấu hình chi tiết: 3660-V/D0W-AIR-100SCCM-20 degree) được nghiên cứu, phát triển và chế tạo 100% tại Nhật Bản bởi tập đoàn KOFLOC (Kojima Instruments Inc.) – thương hiệu công nghệ số 1 châu Á với hơn 75 năm kinh nghiệm dẫn đầu trong lĩnh vực đo lường và điều khiển lưu lượng chất lưu vi mô. Được định vị là dòng bộ điều khiển lưu lượng khối công nghiệp tiêu chuẩn (Standard Mass Flow Controller - MFC) bán chạy nhất của hãng, Model 3660 đại diện cho giải pháp tự động hóa hoàn hảo, loại bỏ hoàn toàn các hạn chế của việc điều chỉnh lưu lượng thủ công bằng van cơ khí thông thường.

Trọng tâm công nghệ của KOFLOC Model 3660 nằm ở cơ cấu tích hợp "2 trong 1" giữa cụm cảm biến lưu lượng khối nhiệt độ nhạy cao và van tỷ lệ điện từ Solenoid phản ứng nhanh (Proportional Solenoid Valve - loại Normally Closed thường đóng an toàn) trong cùng một khối kim loại nguyên khối. Cảm biến nhiệt ứng dụng nguyên lý vi sai dòng điện bám nhiệt, trực tiếp ghi nhận lưu lượng khối thực tế của các phân tử khí mà không bị sai lệch bởi sự dao động áp suất hay nhiệt độ môi trường. Mạch điều khiển servo kỹ thuật số liên tục so sánh tín hiệu phản hồi từ cảm biến với tín hiệu cài đặt mong muốn (Setpoint 0 - 5 VDC), tự động điều chỉnh hành trình mở của màng van với thời gian đáp ứng cực nhanh dưới 2 giây để đạt đúng giá trị lưu lượng mục tiêu với độ chính xác cao ±1.0% F.S. và độ lặp lại ±0.5% F.S.

Cấu hình 3660-V/D0W được hiệu chuẩn chuẩn mực với khí nén sạch (AIR) trên dải lưu lượng vi mô 100 SCCM (Standard Cubic Centimeters per Minute) tại điều kiện chuẩn 20 °C và 1 atm. Thân van và đường dẫn khí được gia công cơ khí chính xác từ thép không gỉ SUS316/SUS316L, kết hợp gioăng đệm kín cao cấp FKM (Viton) và Teflon (PTFE) giúp thiết bị chịu được áp suất vận hành lên tới 500 kPa và áp suất phá hủy tới 980 kPa (xấp xỉ 10 bar) với tỷ lệ rò rỉ chân không cực thấp ≤ 1 x 10^-8 Pa·m³/s He. Thiết bị sử dụng cổng kết nối điện tử D-sub 9-pin chuẩn SEMI quốc tế và đầu nối cơ khí tán siết 1/4" Lok chống rò rỉ. KOFLOC 3660 là thiết bị điều khiển lưu lượng không thể thiếu cho các hệ thống máy sắc ký khí, thiết bị phân tích môi trường, lò phản ứng sinh học, buồng tạo màng plasma bán dẫn và dây chuyền trộn khí phòng thí nghiệm công nghệ cao.

• Hãng sản xuất: KOFLOC (Kojima Instruments Inc.)
• Xuất xứ: 100% Nhật Bản (Kyoto, Japan)
• Dòng sản phẩm: Bộ điều khiển lưu lượng khối khí tiêu chuẩn cao cấp (Standard Mass Flow Controller - MFC)
• Mã cấu hình chi tiết: 3660-V/D0W-AIR-100SCCM-20 degree
• Dòng series: Model 3660 Series
• Nguyên lý cảm biến: Cảm biến lưu lượng khối nhiệt vi sai (Thermal mass flow sensor)
• Cơ chế van điều tiết: Van tỷ lệ điện từ Solenoid tác động nhanh, dạng thường đóng an toàn (Normally-closed proportional solenoid valve)
• Môi chất khí hiệu chuẩn: Khí nén sạch / Không khí khô công nghiệp (Clean Dry Air - AIR)
• Thang đo lưu lượng định danh (Full Scale Flow Range): 100 SCCM (tương đương 100 mL/min)
• Điều kiện nhiệt độ tham chiếu: 20 °C tại áp suất khí quyển 1 atm (101.325 kPa)
• Độ chính xác điều khiển (Accuracy): Trong phạm vi ±1.0% F.S. (tại nhiệt độ phòng 25 °C)
• Độ lặp lại (Repeatability): Trong phạm vi ±0.5% F.S.
• Dải kiểm soát lưu lượng (Control Range): 2% đến 100% F.S.
• Thời gian đáp ứng / Ổn định dòng (Settling Time): ≤ 2 giây (đạt trong phạm vi 98% giá trị định danh)
• Chênh lệch áp suất vận hành (Operating Differential Pressure): 50 kPa đến 300 kPa (G)
• Áp suất vận hành tối đa (Max Operating Pressure): 500 kPa (G) (~5 bar)
• Áp suất chịu đựng tối đa (Proof Pressure Resistance): 980 kPa (G) (~9.8 bar)
• Độ kín chống rò rỉ (Leak Integrity): ≤ 1 × 10^-8 Pa·m³/s (khí Helium)
• Tín hiệu đặt lưu lượng đầu vào (Flow Rate Input Signal): 0.01 đến 5 VDC (Trở kháng vào ≥ 1 MΩ; van tự đóng kín hoàn toàn khi tín hiệu đặt ≤ 2% F.S.)
• Tín hiệu phản hồi lưu lượng đầu ra (Flow Rate Output Signal): 0 đến 5 VDC tuyến tính (Trở kháng tải ngoài ≥ 250 kΩ)
• Cổng kết nối điện tử: Giắc cắm D-sub 9-pin Male chuẩn SEMI quốc tế (tương thích KFC standard)
• Cổng kết nối cơ khí đường ống: Đầu nối tán siết kép 1/4" SWL (Double-Ferrule Lok Compression Fitting)
• Vật liệu tiếp xúc lưu chất (Wetted Materials):
  - Thân vỏ chính & đường dẫn: Thép không gỉ SUS316 / SUS316L
  - Đệm van và vòng làm kín (Seals & O-rings): Cao su tổng hợp cao cấp FKM (Viton) / Teflon (PTFE)
• Nhiệt độ môi trường hoạt động: 5 °C đến 45 °C (dải nhiệt độ bảo đảm độ chính xác: 15 °C đến 35 °C)
• Độ ẩm môi trường cho phép: 10% đến 90% RH (không ngưng tụ)
• Nguồn điện vận hành yêu cầu: Nguồn kép đối xứng +15 VDC (±5%) 100 mA, -15 VDC (±5%) 250 mA
• Khối lượng thiết bị: Xấp xỉ 1.000 g (1.0 kg - kết cấu kim loại nguyên khối chống nhiễu trường điện từ)
• Tiêu chuẩn chất lượng: Tuân thủ chứng chỉ an toàn Châu Âu CE, tiêu chuẩn môi trường RoHS, kiểm chuẩn nghiêm ngặt trước khi xuất xưởng
• Ngành nghề và hệ thống áp dụng: Thiết bị sắc ký khí (Gas Chromatography) và phân tích môi trường, công nghệ lắng đọng màng mỏng bán dẫn (CVD/PVD), hệ thống lên men sinh học và bioreactor y tế, buồng kiểm soát khí cháy và phân tích nhiệt, hệ thống phân phối và phối trộn khí mẫu chuẩn phòng lab R&D, và các dây chuyền tự động hóa khí công nghiệp yêu cầu kiểm soát lưu lượng vi mô chính xác cao.