Bộ điều khiển lưu lượng khí Hydro KOFLOC 3200-V/D0W-H2 chính hãng Japan giá tốt

Bộ điều khiển lưu lượng khối khí Hydro cao cấp KOFLOC Model 3200 Series (Mã cấu hình chi tiết: 3200-V/D0W-H2-20/40SLM) được nghiên cứu, phát triển và chế tạo 100% tại Nhật Bản bởi tập đoàn KOFLOC (Kojima Instruments Inc.) – thương hiệu công nghệ số 1 châu Á với hơn 75 năm kinh nghiệm dẫn đầu trong lĩnh vực đo lường và điều khiển lưu lượng chất lưu vi mô. Được định vị là dòng bộ điều khiển lưu lượng khối cao cấp (High-Grade Mass Flow Controller - MFC) kế thừa và nâng cấp toàn diện từ dòng máy Model 3910 danh tiếng, Model 3200 đại diện cho chuẩn mực kỹ thuật khắt khe nhất trong ngành bán dẫn, quang điện tử và công nghệ năng lượng Hydro sạch.

Điểm đột phá cơ điện hàng đầu của KOFLOC Model 3200 nằm ở cơ cấu van màng ngăn tỷ lệ thông minh (Diaphragm-Seat Valve) điều khiển bằng cuộn hút Solenoid tác động nhanh dạng thường đóng an toàn (Normally Closed). Khác biệt hoàn toàn với các cơ cấu van kim truyền thống có nhiều khe hở và thể tích khoang lớn, van màng của Model 3200 giúp giảm thiểu tối đa thể tích chết (Minimized dead volume), ngăn ngừa hiện tượng tích tụ hạt bụi, loại bỏ nguy cơ rò rỉ khí ra môi trường và cho phép thay thế, làm sạch khí trong đường ống gần như tức thì. Cụm cảm biến lưu lượng ứng dụng công nghệ vi sai dòng điện bám nhiệt (Temperature tracking current difference detection) độc quyền, phát hiện trực tiếp sự trao đổi nhiệt của các phân tử khí Hydro mà không cần bộ phận chuyển động cơ học. Hệ thống vi xử lý vòng lặp kín điều khiển van đạt thời gian đáp ứng cực nhanh ≤ 1.0 giây, duy trì độ chính xác cao ±1.0% F.S. và độ lặp lại vượt trội ±0.2% F.S.

Thiết bị được hiệu chuẩn chính hãng bằng chính khí Hydro thực tế (Actual H2 gas calibration) tại nhà máy Kyoto trên thang đo công suất lớn lên tới 20 SLM (tương đương N2) và đạt tới 40 SLM đối với khí Hydro. Thân van gia công từ thép không gỉ SUS316L cao cấp, màng ngăn hợp kim Ni-Co chịu mỏi cơ học cực cao kết hợp đệm làm kín PTFE và gioăng cao su kỹ thuật FKM giúp máy chịu áp suất làm việc lên tới 300 kPa (G) và áp suất phá hủy tới 980 kPa (xấp xỉ 10 bar) với độ kín chân không Helium đạt mức siêu cao ≤ 1 x 10^-8 Pa·m³/s. Tín hiệu điều khiển ngõ vào và hồi tiếp ngõ ra dạng điện áp tuyến tính 0 – 5 VDC qua giắc cắm D-sub 9-pin chuẩn SEMI (KFC standard), kết hợp đầu nối ống tán siết kép 1/4" SWL chống rò rỉ khí vi mô. KOFLOC 3200 là thiết bị điều khiển lưu lượng cốt lõi cho các trạm thử nghiệm pin nhiên liệu Hydrogen (Fuel Cell), buồng lắng đọng màng mỏng bán dẫn CVD/PECVD, lò thiêu kết kim loại nhiệt độ cao và các dây chuyền sản xuất công nghệ cao.

• Hãng sản xuất: KOFLOC (Kojima Instruments Inc.)
• Xuất xứ: 100% Nhật Bản (Kyoto, Japan)
• Dòng sản phẩm: Bộ điều khiển lưu lượng khối khí cao cấp van màng (High-Grade Diaphragm-Seat Mass Flow Controller)
• Mã cấu hình chi tiết: 3200-V/D0W-H2-20/40SLM
• Dòng series: Model 3200 Series (thế hệ kế thừa ưu việt của dòng Model 3910 Series)
• Nguyên lý cảm biến: Cảm biến lưu lượng khối nhiệt vi sai bám nhiệt độc quyền (Temperature tracking type current difference detection flow sensor)
• Cơ chế van điều tiết: Van màng điện từ tỷ lệ giảm thể tích chết, dạng thường đóng an toàn (Normally-closed diaphragm seat valve, reduced dead volume)
• Môi chất khí hiệu chuẩn: Khí Hydro (H2 - Hydrogen, hiệu chuẩn trực tiếp bằng khí thực tế tại nhà máy Kyoto)
• Thang đo lưu lượng định danh (Full Scale Flow Range): 20 SLM (quy đổi N2) / lên đến 40 SLM (đối với khí Hydro H2) [Standard Liters per Minute]
• Điều kiện nhiệt độ tham chiếu: 20 °C tại áp suất khí quyển 1 atm (101.325 kPa)
• Độ chính xác điều khiển (Accuracy): Trong phạm vi ±1.0% F.S. (tại nhiệt độ phòng 20 °C / 25 °C)
• Độ lặp lại (Repeatability): Trong phạm vi ±0.2% F.S.
• Dải kiểm soát lưu lượng (Control Range): 2% đến 100% F.S.
• Thời gian đáp ứng / Ổn định dòng (Response Time): Cực nhanh, ≤ 1.0 giây (đạt trong phạm vi ±2% giá trị định danh từ 0 đến 100%)
• Chênh lệch áp suất vận hành (Operating Differential Pressure): 50 kPa đến 300 kPa (G)
• Áp suất vận hành tối đa (Max Operating Pressure): 300 kPa (G) (~0.3 MPa)
• Áp suất chịu đựng tối đa (Proof Pressure Resistance): 980 kPa (G) (~1.0 MPa / 145 psi)
• Độ kín chống rò rỉ khí (Leak Integrity): ≤ 1 × 10^-8 Pa·m³/s (khí Helium)
• Tín hiệu đặt lưu lượng đầu vào (Setpoint Command Input): 0 đến 5 VDC (Trở kháng vào ≥ 1 MΩ; van tự động đóng kín hoàn toàn khi tín hiệu đặt ≤ 2% F.S.)
• Tín hiệu phản hồi lưu lượng đầu ra (Flow Output Signal): 0 đến 5 VDC tuyến tính (Trở kháng tải ngoài khuyến nghị ≥ 250 kΩ)
• Cổng kết nối điện tử: Giắc cắm D-sub 9-pin Male chuẩn KFC (tương thích hoàn toàn chuẩn bán dẫn quốc tế SEMI)
• Cổng kết nối cơ khí đường ống ("W"): Đầu nối tán siết kép 1/4" SWL (Double-Ferrule Lok Compression Tube Fittings)
• Vật liệu tiếp xúc lưu chất (Wetted Materials):
  - Thân vỏ & đường dẫn khí: Thép không gỉ SUS316L cao cấp
  - Màng ngăn van (Diaphragm): Hợp kim Niken - Coban (Ni-Co Alloy) độ bền mỏi cao
  - Đế van (Valve Seat): Nhựa Fluorocarbon PTFE chống ăn mòn
  - Vòng đệm làm kín: Cao su tổng hợp Fluorocarbon FKM (Viton)
• Nhiệt độ môi trường hoạt động: 0 °C đến 50 °C (dải nhiệt độ bảo đảm độ chính xác: 15 °C đến 35 °C)
• Độ ẩm môi trường cho phép: 10% đến 90% RH (không ngưng tụ)
• Nguồn điện vận hành yêu cầu: Nguồn kép đối xứng +15 VDC (±5%) 100 mA, -15 VDC (±5%) 200 mA
• Khối lượng thiết bị: Xấp xỉ 1.000 g (1.0 kg - kết cấu kim loại nguyên khối chống nhiễu điện từ EMI)
• Tiêu chuẩn chất lượng: Tuân thủ chứng chỉ an toàn Châu Âu CE, tiêu chuẩn môi trường RoHS, kiểm chuẩn nghiêm ngặt trước khi xuất xưởng
• Ngành nghề và hệ thống áp dụng: Trạm thử nghiệm và đánh giá pin nhiên liệu Hydrogen (Fuel Cells), dây chuyền chế tạo linh kiện bán dẫn và pin mặt trời (Solar PV), thiết bị lắng đọng màng mỏng hóa học (CVD / ALD / MOCVD), lò thiêu kết kim loại và xử lý nhiệt khí bảo vệ Hydro, thiết bị sắc ký khí công nghiệp, hệ thống phân phối và phối trộn khí mẫu chuẩn phòng lab R&D công nghệ cao.