Đại lý Brooks Instrument Vietnam,Bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt – đệm kín bằng kim loại: GF125 Brooks Instrument Vietnam

Bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt – đệm kín bằng kim loại:

Dùng cho dòng chảy có độ tinh khiết cao nhất , chính xác cao và kiểm soát không nhiễm tạp chất

Nhiều quy trình sản xuất các thiết bị điện tử tân tiến thời nay đòi hỏi sự đo lường và kiểm soát cực kỳ chính xác và có độ lặp lại cao đối với các chất khí siêu tinh khiết và tiền chất lỏng . Brooks Instrument đáp ứng những nhu cầu đó với bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt – đệm kín bằng kim loại. Kiểm soát hóa học chính xác được thông qua bởi sự kết hợp của cảm biến đo siêu ổn định, độ chính xác cao, van điều khiển chính xác nhanh và thiết bị điện tử kỹ thuật số mạnh mẽ. Độ tinh khiết của quá trình hóa học được đảm bảo bởi đường dẫn dòng chảy mạ thiếc hoàn toàn bằng kim loại, siêu tinh khiết và hoàn toàn kín, được thiết kế để giữ các tạp chất bên ngoài như độ ẩm và oxy không xâm nhập làm hỏng môi trường hoạt động.

Ứng dụng chính:

• Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn silicon - Etch, Strip, CVD, ALD, PVD, Epi, Diffusion, Implant và RTP
• Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn hợp chất - MOCVD
• Lớp phủ bề mặt được thiết kế chính xác
• Hệ thống phân tích
• Ứng dụng quy trình chân không

Đặc tính:

• Đối với các quy trình nhạy cảm với độ ẩm hoặc oxy
• Đường dẫn dòng có độ tinh khiết cao giảm thiểu nhiễm bẩn, nâng cao năng suất
• Thời gian phản hồi cực nhanh

Mã sản phẩm:

• Dòng GF125  : Mã GF125 / GF126
• GF100 Dòng EtherCAT: Models GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126
• GF100 Dòng: Mã GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121
• GF80 Dòng: Mã GF80
• 5850EM Dòng: Models 5850EM / 5851EM

ANS là đại lý chính thức Brooks Instrument tại Việt Nam