Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng khí kỹ thuật số dòng SLA5800 - Model SLA5853 (Mã cấu hình: SLA5853S2GAB2C2A1) được nghiên cứu và sản xuất bởi thương hiệu hàng đầu thế giới Brooks Instrument LLC (Hoa Kỳ). SLA5853 là dòng thiết bị đo và điều khiển lưu lượng khối nhiệt dải trung và lớn (High-Flow Range), được công nhận rộng rãi trong các ngành công nghiệp công nghệ cao nhờ độ ổn định điểm không (Zero Stability) vượt trội, độ bền bỉ cơ học và thuật toán điều khiển kỹ thuật số tiên tiến.

THÔNG TIN CHI TIẾT MÃ CẤU HÌNH SLA5853S2GAB2C2A1:
- Dòng sản phẩm (Series): SLA5853 - Thuộc họ thiết bị đo/điều khiển lưu lượng khối kỹ thuật số cao cấp SLA5800 Series.
- Nguyên lý hoạt động: Cảm biến đo lưu lượng khối nhiệt điện trở (Thermal Mass Flow Sensor) kết hợp van điều tiết màng tỉ lệ phản hồi nhanh, đo trực tiếp lưu lượng khối mà không cần bù trừ áp suất và nhiệt độ bên ngoài.
- Cơ cấu làm kín (Seal Type): Đệm làm kín vật liệu đàn hồi cao cấp Elastomer (Viton / Fluoroelastomer), đảm bảo độ kín khít tuyệt đối, chống rò rỉ khí và hoạt động bền bỉ trong môi trường khí công nghiệp tiêu chuẩn và khí trơ.
- Thiết kế khí động học lưu lượng lớn: Thân van và ống dẫn dòng được tối ưu hóa tiết diện, cho phép kiểm soát lưu lượng dòng khí từ vài chục lít đến hàng trăm lít/phút (chuẩn lN/min hoặc SLPM) với mức sụt áp tối thiểu trên đường ống.
- Vi xử lý kỹ thuật số thông minh: Tích hợp công nghệ lưu trữ bảng dữ liệu đa khí (Multi-gas / Multi-range capability), cho phép người dùng cấu hình lại loại khí đo và dải lưu lượng làm việc ngay tại hiện trường thông qua cổng giao tiếp dịch vụ độc lập mà không cần gửi về nhà máy hiệu chuẩn lại.

ĐẶC ĐIỂM NỔI BẬT:
- Cấp chính xác hàng đầu: Độ chính xác đạt tới ±0.9% giá trị đọc (Rate) đối với dải lưu lượng làm việc chính, kết hợp độ ổn định điểm không cực cao trong suốt vòng đời sử dụng, loại bỏ hiện tượng trôi số đo (Zero Drift).
- Thời gian đáp ứng điều khiển cực nhanh: Thời gian ổn định dòng chảy (Settling Time) dưới 1 giây, giúp tối ưu hóa hiệu suất và chu kỳ vận hành của các buồng phản ứng nhanh.
- Thiết kế chắc chắn, chống nhiễu: Thân vỏ gia công từ thép không gỉ chất lượng cao, bảo vệ bảng mạch kỹ thuật số khỏi nhiễu điện từ trường công nghiệp (EMC).

• Hãng sản xuất: Brooks Instrument LLC
• Xuất xứ: United States (USA)
• Mã đặt hàng (Model Code): SLA5853S2GAB2C2A1
• Dòng sản phẩm: SLA5853 (SLA5800 Series Digital Elastomer Mass Flow Controllers / Meters)
• Nguyên lý đo: Lưu lượng khối lượng nhiệt (Thermal Mass Flow)
• Môi chất áp dụng: Các loại khí công nghiệp, khí trơ, khí đốt, khí chuẩn (N2, Air, Ar, He, H2, O2, CH4, CO2, v.v.)
• Dải lưu lượng đo lường: Dải lưu lượng cao (High flow capacity, lên đến 1000 ln/min N2 equiv. tùy cấu hình)
• Cấp độ chính xác (Accuracy):
  - Dải lưu lượng 20% - 100%: ±0.9% of rate
  - Dải lưu lượng 2% - 20%: ±0.18% of full scale (F.S.)
• Độ lặp lại (Repeatability): < ±0.2% giá trị đọc (Rate)
• Thời gian đáp ứng điều khiển (Settling Time): < 1 giây (đạt ±2% giá trị đặt mới)
• Độ ổn định điểm không (Zero Stability): < ±0.5% F.S. qua thời gian dài vận hành
• Tỷ lệ điều chỉnh lưu lượng (Turndown Ratio): 100:1 (hoặc 50:1 tùy môi chất)
• Áp suất vận hành tối đa: Lên đến 1500 psig (100 bar) hoặc theo chuẩn định mức thân van
• Áp suất chênh lệch điều khiển (Differential Pressure): Tối ưu theo cấu hình dải lưu lượng
• Nhiệt độ làm việc: 0°C đến 65°C (32°F đến 149°F)
• Vật liệu thân tiếp xúc lưu chất (Wetted Materials): Thép không gỉ 316L Stainless Steel
• Vật liệu đệm làm kín: Elastomer (Fluoroelastomer / Viton cao cấp)
• Tín hiệu điều khiển & Giao tiếp (I/O):
  - Tín hiệu Analog: 0-5V DC, 0-10V DC hoặc 4-20 mA
  - Tín hiệu Digital: Cổng dịch vụ RS-485 / Modbus (hỗ trợ các chuẩn mạng công nghiệp)
• Điện áp cấp nguồn: +15V đến +24V DC (±10%)
• Cổng kết nối công nghệ: Kết nối rắc co kẹp ống (Compression fittings), ren NPT hoặc mặt bích theo chuẩn công nghiệp
• Ứng dụng: Lò ủ nhiệt luyện công nghiệp, buồng tráng gương kính nổi, hệ thống cung cấp khí nạp bioreactor, máy đóng gói bảo quản khí trơ và trạm phối trộn khí đốt mỏ hàn.