Kawaso Vietnam,Cặp nhiệt điện - Thermocouple for wafer monitor Kawaso

Thermocouple for wafer monitor - Cặp nhiệt điện Kawaso

Thermocouple for wafer monitor - Cặp nhiệt điện trong ứng dụng kiểm soát nhiệt độ tấm wafer Kawaso

Công dụng của Thermocouple – Cặp nhiệt điện Kawaso trong ứng dụng kiểm soát nhiệt độ tấm wafer ( Lát bán dẫn

Việc đo chính xác nhiệt độ của tấm wafer (lát bán dẫn) là rất quan trọng để kiểm soát chất lượng trong các nhà máy sản xuất wafer. Cặp nhiệt điện cho tấm wafer (lát bán dẫn) có ứng dụng tương tự như wafer TC hoặc TC wafer, nhưng Kawaso đã phát triển một phương pháp để đo nhiệt độ wafer bằng cách nhúng cặp nhiệt vào wafer và cố định nó bằng một cấu trúc độc đáo. Do đó, khi cặp nhiệt điện được gắn vào tấm wafer (lát bán dẫn) , Ít khi xảy ra việc bung ra khỏi tấm wafer 1 cách dễ dàng. Cặp nhiệt điện được sử dụng có thể được chọn từ K và R. Nó có thể được sử dụng rộng rãi để thiết kế và đánh giá các thiết bị và quy trình bán dẫn.

Đặc tính:

Cặp nhiệt điện cho màn hình được gắn bằng cách áp dụng quy trình xử lý đặc biệt cho tấm wafer( lát bán dẫn)

Tấm wafer (lát bán dẫn) được gia công với hai hoặc ba lỗ xuyên qua và lỗ đối xứng để cố định các tiếp điểm nóng của cặp nhiệt điện và các tiếp điểm nóng của cặp nhiệt điện được đặt trong các lỗ đối ứng này và được cố định bằng chất kết dính chịu nhiệt.  Bằng phương pháp này, không thể dễ dàng tháo cặp nhiệt điện.

Ứng dụng:

Nó có thể được sử dụng để khuếch tán, oxy hóa, ủ, CVD, CVD huyết tương bước, cấy ion, tăng trưởng biểu mô, v.v. trong quy trình trước đó.

Thông số kỹ thuật:

Thermocouple – cặp nhiệt điện

1. TYPE K Thermocouple (standard) – cặp nhiệt điện tiêu chuẩn loại K
Wire diameter – đường kính dây: φ0.13mm Can
được sử dụng trong môi trường oxy hóa, khí trơ hoặc chân không.

2. TYPE R thermocouple (high temperature specification) – cặp nhiệt điện chịu nhiệt độ loại R
Wire diameter – đường kính dây: φ0.2mm Can
được sử dụng trong môi trường oxy hóa, khí trơ hoặc chân không.

Thermocouple protection - Ống bảo vệ

• Bên trong lò: Ống bện sợi dài bằng nhôm hoặc ống thạch anh

• Bên ngoài lò: Teflon

Phần đệm kín, gioăng

• Cáp phẳng polyimide

Xử lý thiết bị đầu cuối

• Đầu nối SMP cho cặp nhiệt điện (cho 1 điểm)

• Đầu nối D-Sub cho Cặp nhiệt điện (cho nhiều điểm) Đầu nối uốn

Liên hệ & Báo giá chi tiết:

Sale ANS Vietnam:

support@ansgroup.asia

  Trực tiếp FaceBook

 Trực tiếp Zalo: 0911472255 

=====================================================

Click xem thêm ứng dụng sản phẩm khác

Đại lý phân phối chính hãng tại Vietnam 

Báo giá ngay – Hàng chính hãng – Bảo hành 12 tháng – Tư vấn hỗ trợ kỹ thuật 24/7 

Xem thêm sản phẩm hãng Kawaso tại đây

Xem thêm thông tin về thương hiệu khác tại đây

Xem thêm sản phẩm khác tại đây